繼日前獲得美方設備供應許可後,大陸晶圓代工龍頭中芯國際3日再傳出,已成功向全球最大曝光機設備大廠艾司摩爾(ASML)下單購買設備。中芯3日在港交所公告,已斥資逾12億美元採購艾司摩爾晶圓生產設備,但中芯並未提及向艾司摩爾購買了何種設備,以及對方交付設備的時間。
綜合陸媒報導,儘管美方在半導體先進製程上仍未對中芯鬆綁,但在成熟製程上的放鬆已有利中芯的營運預估。大陸業內資深人士表示,中芯3日公告顯示,在美方有條件鬆綁下,除了EUV曝光機,中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的曝光機,包括DUV(深紫外)曝光機。
報導指出,美國商務部在2020年12月18日以與中國軍方有關聯為由,宣布將中芯國際等80家陸企列入實體清單,今後沒有美方許可證,美企不得銷售10奈米及以下製程技術給中芯。中芯國際當時公告表示,預估被納入清單將對公司10奈米及以下先進製程的研發及產能建設,有重大不利影響。
之後中芯試圖突破美國封鎖線。2020年12月,有外媒傳出,在台積電前營運長、中芯新任副董事長蔣尚義牽線下,中芯將尋求與艾司摩爾就EUV曝光機設備進行談判。
至2021年2月,據供應鏈人士的說法,大陸晶圓代工龍頭中芯國際的美國設備廠商,已獲得供應中芯14奈米及以上(14奈米及28奈米等成熟製程)的設備供應許可。摩根士丹利2月25日發報告指出,美國設備供應商近期已經恢復對中芯國際的零組件供應與現場服務,一定程度上緩解外界對於中芯消耗品儲備及設備的售後擔憂。