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ASML澄清沒賣EUV機台 中芯早盤跌1.7%

ASML澄清,指中芯國際的訂單和DUV光刻技術相關,而非更高端的EUV光刻技術。圖/本報資料照片
ASML澄清,指中芯國際的訂單和DUV光刻技術相關,而非更高端的EUV光刻技術。圖/本報資料照片

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中芯國際日前公布,公司於本月初跟荷蘭光刻機巨頭ASML延長採購協議至12月31日。消息令不少投資者誤以為中芯購得高端光刻機,但ASML其後澄清,指中芯國際的訂單和DUV光刻技術相關,而非更高端的EUV光刻技術。消息令中芯國際5日早盤跌1.7%,報人民幣58.3元。

此外,路透4日引述知情人士說法稱,在中芯國際被列入實體清單後,確實有許多美企立即獲得許可證供貨給中芯,但關鍵的是,仍有規模約50億美元的美國零組件尚未得到批准,當中就包含應用材料、科林(Lam Research)等關鍵設備廠。

知情人士稱,許可證是否涉及10奈米技術方面可能是當中重點,官員詢問美企產品會否被轉用至這些先進製程,這項來回詢問的程序,使許多美企申請的許可證一再被延後、擱置甚至延長審查期限。

報導引述科林發言人說法表示,公司仍在申請許可中,尚未收到回應。另外包括Entegris、KLA Corp、Axcelis Technologies等企業也都遞交許可申請,但尚未得到美國商務部的回應。

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