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應材推Vistara晶圓製造平台 搭配AI解決晶片製造挑戰

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應用材料推出近年來最重要的晶圓製造平台創新方案Vistara,為晶片製造廠提供必備的靈活性及智慧功能,其中製造平台內建大量的感測器資料,傳送至應材的AIx軟體平台,以加速研發,加快上市時間,並最大化大量製造的產能和良率,以解決日益嚴峻的晶片製造挑戰。

應材長期在半導體製造設備保持的領先地位,Vistara平台的開發建立於深厚的研發基礎之上,歷年來應材包括Endura、Producer和Centura等平台,獲全球各地的晶圓廠採用,且幾乎參與了生產晶片的重要流程。應材此次開發Vistara平台的長達四年以上的時間,並由各領域工程師參與設計。

結合大數據及時運算,Vistara平台之智慧功能加速晶片上市時間,最大化大量製造的產能和產量,協助客戶管理持續增加的晶圓製造節奏和成本挑戰。藉由配置了數千個感測器,即時傳送大量數據至應材的AIx軟體平台,再透過數千個製程變數所取得的操作標準流程,工程師運用機器學習和人工智慧,加速開發製程配方,實現最佳的晶片效能及功率。

在功耗上,Vistara平台的氣體控制板,與之前的設計相較,能減少能源消耗量50%以上,另外在泵浦、熱交換器和冷卻系統中,也降低功耗達35%,協助晶片製造商減少碳排放,以符合日趨嚴格的環保標準,達到環境永續的目標。

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