經濟部29日召開投資審議委員會，核准及備查重大投資案件計6件。其中，以台灣艾司摩爾（ASML）獲母公司以56.47億及1.4億歐元增資最受矚目。該案獲通過，也為ASML林口工一區的擴廠案向前邁出一大步。
ASML去年宣布將投入300億於林口工一區擴廠，投審會表示，這次一口氣通過荷蘭商艾士麥公司以56億4,655萬元及1.4億歐元增資台灣ASML，總計金額超過百億台幣，相關資金主要從事經營晶圓量測設備等的代工生產，並提供相關技術支援及培訓服務等。
投審會解釋，ASML案會分為兩筆金額，主要是因為56.47億元為股東直接增資的股本，1.4億歐元則是股東以借款方式貸款投資子公司，預計核准後必須要在6個月內匯入。
ASML是唯一極紫外光（EUV）設備供應商，目前包括台積電、三星、英特爾等大廠都積極導入EUV，預計ASML的客戶真正大量應用，應該會落在2025至2026年。