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《電通股》蔚華科南方科技搶SiC基板檢測商機 拚今年訂單到手

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【時報記者王逸芯台北報導】半導體測試解決方案專業品牌蔚華科(3055)攜手旗下數位光學品牌南方科技,共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描,找出基板內部的致命性晶體缺陷,用以取代現行高成本的破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式,可提升產量並有助於改善製程。若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算,JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。蔚華強調,今年一定要拿到訂單,目前設備已經在生產了。

在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下,許多國家已制定電動車的階段性政策目標,SiC晶片需求迅速爆發,尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件,供給量遠遠不及需求。化合物半導體的基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣,但SiC長晶速度較慢,且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測,使得SiC晶片製程成本居高不下,目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程,加速產業布局以搶攻市占率。基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測,不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量,更能及早發現問題,進而有效改善製程、提升良率,進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢。

南方科技總經理王嘉業表示,目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷,JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術,可對全片基板表面到特定深度進行掃描,反應晶體結構資訊,提供晶體缺陷密度及其分布狀況,讓客戶有效掌握基板品質,未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。

蔚華科總經理楊燿州表示,考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構,蔚華不斷加強投資自有產品開發以求推出更貼近客戶需求的解決方案,此次透過併購南方科技,加速自有產品的發展進程。他進一步指出,蔚華與南方科技自經銷合作以來就有互相壯大的默契,成立先進光學材料檢測實驗室讓獨特的光學檢測技術更快進入業界應用,透過客戶的反覆驗證,進而調整產品規格以滿足客戶需求。除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外,未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化,持續加大研發能量有效整合集團資源,發揮綜效。

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