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蔚華科攜南方科技 搶攻化合物半導體商機

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半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技(3055)攜手旗下數位光學品牌南方科技,共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統,採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描,該公司表示,若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算,JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。

南方科技總經理王嘉業表示,目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷,JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術,可對全片基板表面到特定深度進行掃描,反應晶體結構資訊,提供晶體缺陷密度及其分布狀況,讓客戶有效掌握基板品質,未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。

蔚華科技總經理楊燿州表示,蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測,蔚華與南方科技合作,除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外,未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化,持續加大研發能量有效整合集團資源,發揮綜效。

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