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台積電強震應變!10小時復原率逾7成 EUV光刻設備未受損

  • 中時即時 柳名耕
台積電3日晚間指出,地震發生後10小時內,設備已復原70%,將持續與客戶密切溝通。(圖/報系資料照)
台積電3日晚間指出,地震發生後10小時內,設備已復原70%,將持續與客戶密切溝通。(圖/報系資料照)

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台灣東部3日上午發生芮氏規模7.2地震,至晚間累計餘震200多起,全球關注的台積電稍早說明,主震發生10小時內,設備復原率已經超過70%,新廠復原率更是達到80%,同時提到持續與客戶保持密切溝通。

台積電指出,3日遭逢過去25年來最大的地震,新竹、龍潭和竹南等科學園區的最大震度級為5 ,台中和台南科學園區的最大震度級則為4;地震發生後晶圓廠工安系統正常,為確保人員安全,依公司內部程序啟動相關預防措施,部分廠區在第一時間進行疏散,人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位,詳細影響正在確認中。

另台積公司建廠工地狀況檢查初步正常,因安全考量已決定今日台灣各地工地停工,待檢查後再行施工。

台積電表示,基於地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力,並定期進行安全演習以確保萬全準備;3日地震發生後僅10小時內,晶圓廠設備的復原率已超過70%,新建的晶圓廠(如晶圓十八廠)的復原率更已超過80%;雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產,主要機台包含所有極紫外(EUV)光刻設備皆無受損。

最後強調,台積公司已有資源到位以加速達到全面復原,且已在今日持續復工中,我們也與客戶保持密切溝通。我們將繼續密切監控並適時與我們的客戶直接溝通相關影響。

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