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資騰科技助力半導體良率提升

資騰EcoDesign臭氧水產生設備適用於半導體、FPD等製造過程中的精密清洗應用之臭氧水設備。圖/資騰提供
資騰EcoDesign臭氧水產生設備適用於半導體、FPD等製造過程中的精密清洗應用之臭氧水設備。圖/資騰提供

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佳世達集團羅昇旗下資騰科技將參加「2024 SEMICON Taiwan國際半導體展」,偕同歐美日及在地合作夥伴展出。此次展會將聚焦於運用隨機性誤差量測工具在先進製程與EUV應用,以及VOC回收產品,可應用於AI伺服器散熱之雙相浸潤式冷凍液回收,助力客戶達成環境永續目標。

Fractilia FAME 300專為量產晶圓廠設計,能即時測量和監控先進節點微影圖案化誤差中的隨機效應(stochastic),其全新FAME OPC套件,能自動化測量多種隨機效應並縮短運算時間,提升微影圖案化中的OPC建模精準度,對High-NA EUV製程精度具關鍵影響。可用於所有SEM工具、High-NA EUV與OPC資料串流,幫助先進半導體提高良率、降低製程風險,實現高效穩定生產。

本次展出產品包括來自德國的Intelligent Fluids的物理性去光阻技術、EcoDesign的Metal Free臭氧水產生設備、Prognosis普格諾斯科技的智能振動感測器、FlowVIEW邑流科技的濕製程微汙染監控解決方案、AI Particle Imager影像檢測儀,日本大廠Morikawa和德國新創公司CNM Technologies的合作,主要實績為面板廠、自動化設備廠與半導體客戶。

來自德國的創新清潔液體Intelligent Fluids GmbH,具備去汙、去膠和去光阻等效果,pH值介於5.5~6.5之間,對人體無直接性傷害,無毒且環保,並能在自然環境中分解。可取代NMP等有毒溶劑,幫助客戶實現更安全、可持續的生產過程。

EcoDesign臭氧水產生設備,專利設計的石英三重管及渦旋式臭氧溶解技術,可提供無金屬微粒、穩定且高濃度的臭氧水,在晶圓清洗過程中,可降低RCA製程的藥劑使用量,同時維持高品質的製程控制,在矽基半導體與碳化矽半導體製程中獲得廣泛採用,達成更永續製造目標。

Prognosis智能振動感測器是高精度工業級MEMS振動感測器,具備防爆、耐腐蝕、寬溫等各種規格,結合AI設備故障預診軟體,提供符合半導體廠自動化監控的解決方案。確保設備始終以最佳狀態運行,不僅降低產能損失和維修成本,同時實現節能減碳目標。

FlowVIEW濕製程微汙染監控解決方案,包括臨場電子顯微鏡觀測,突破固態樣品限制,能在30秒內完成封裝並觀測到7nm微粒子。多通道液體粒子檢測系統整合至產線,能24小時監控數據與預警。AI Particle Imager利用影像檢測和AI分析,快速處理濕製程中的粒子和氣泡,生成自動化圖像報表,監控製程品質,降低污染風險與設備成本提升良率。

Morikawa VOCs處理技術獲日本產業技術大獎,該技術針對各領域中的VOCs溶劑氣體進行液化回收,減少環境危害的同時降低溶劑購買成本。

CNM Technologies 碳奈米膜材料,具有極微小孔隙及大通量的物理特性,可應用於半導體超高純水過濾、精水處理等。於電池和燃料電池應用,實驗證明可增加鋰電池的2倍壽命,達到增強能源儲存設備的可靠性和效能,提高半導體和精水處理過程中的過濾效率。

透過與和淞科技、韶揚科技、友達數位、邑流科技、普格諾斯科技、其陽科技、帝畢仕等多家知名廠商的緊密合作,為客戶提供精確應對先進製程和 EUV 應用挑戰的解決方案,幫助客戶提升製程良率、降低生產風險。

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