前往主要內容
工商時報LOGO

準力展出高精密晶圓拋光/研磨機

準力在半導體展,展示多種晶圓設備精銳盡出

  • 工商時報 蔡榮昌
04-76318-001準力公司董事長林馨堂,親自為國內外客解說機器的優點。圖/業者提供。
04-76318-001準力公司董事長林馨堂,親自為國內外客解說機器的優點。圖/業者提供。

已將目前網頁的網址複製到您的剪貼簿!

SEMICON 2024 半導體展,準力展出JL-S12單面拋光/研磨機、JL-D20雙面研磨拋光機、晶瓷加工機JL-200SCG/JL-300SCGI晶瓷加工機等高精密半導體設備。

準力機械股份有限公司,參加SEMICON 2024 半導體展,展出JL-S12單面拋光/研磨機(Single-Sided Polishing /Lapping Machine)、JL-D20雙面研磨拋光機(Double Lapping/Polishing Machine)、晶瓷加工機JL-200SCG/JL-300SCGI晶瓷加工機(High Precision WaferSurface Grinding Machine)等高精密半導體設備,適合單晶矽/多晶矽、石英、硬脆材料等晶圓的研磨與拋光。

準力機械公司投入晶圓研磨與拋光機,響應政府推動半導體設備自製。暨晶圓減薄研磨機與雙面拋光機,再推出更精密的單面拋光機JL-S12。其設計包含以下這些主要功能:S12屬於單頭拋光之單磨頭設計;其製程控制系統,用以確保晶圓表面的均勻拋光,這對於維持晶圓各層的完整性至關重要。

JL-S12屬於單頭拋光機器,配備拋光墊調節系統,可長期保持拋光墊的有效性,確保結果一致;系統可以精細控制拋光過程中施加的壓力,這對於實現所需的材料去除率和表面鏡面度至關重要;機器也含有清潔模組用於清除晶圓表面的任何殘留漿料或碎片,拋光時避免刮傷;漿料輸送系統,可在拋光過程中精確控制漿料的量和分佈。

JL-S12屬於單頭拋光機配方管理,它提供儲存和管理多個配方的能力,允許在不同拋光製程之間快速切換;即時監控包括拋光壓力、墊磨損、漿料流量等參數的即時監控系統,實現對拋光過程的嚴格控制。

JL-S12 適用產品產品適用:單晶矽/多晶矽、STI淺溝槽、鎢拋光、銅鑲嵌(WLP和MEMS)、光學玻璃、石英、硬脆材料、金屬類銅、鋁等拋光等。於9/4至9/6,在SEMICON TAIWAN國際半導體展南港一館展出,攤位J2456。網址:www.joenlih.com。

您可能感興趣的話題

留言討論

返回頁首
LOADING

本網頁已閒置超過3分鐘。請點撃框外背景,或右側關閉按鈕(X),即可回到網頁。